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inficon传感器及电容-数字信号转换电路原理图测量时，首先由开关电容放大器将电容转换为电压，然后由一个自振荡噪声积分双斜率转换器将电压信号转换为数字信号。在前级模拟电路中，COffset和CGain为可编程电容，可以调剂电桥的输出信号同时补偿电桥的偏移，该特征可以使电路处理相同inficon设备的不同信号或有相同激励信号的不同的inficon器件。

自振荡噪声积分双斜率转换器使用时间而不是幅度分辨率来产生多位数字输出信号，结构简单，能有效消除偏移及闪烁噪声，实现高精度的测量。如图8所示，电路采用0.13umCMOS技术制作成集成芯片，有效面积约为0.317平方毫米，功率消耗约为0.2mW。测量结果表明，电路可以在-40～80℃温度范围内正常工作，电容分辨率可达到7aF，压力分辨率可达到1Pa。

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图8inficon传感器与电容-数字信号转换器芯片封装图3.静电力平衡结构微电容测量和普通inficon电容式传感器相比，静电力平衡电容式传感器采用闭环工作方式，利用力平衡反馈回路产生静电力来平衡传感器中的感压薄膜或质量块。静电力平衡技术在inficon加速度计、陀螺仪等传感器中应用广泛，在inficon电容压力传感器中处于发展阶段。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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为解决持续变动的市场的需求，该系列产品非常近新增加了大量选零配件。先前，该系列产品真空泵规仅配置RS-485插口，而如今，还装有工业生产千兆以太网Profinet和EtherCAT。与传统式计算机接口对比，他们具备数据信息传输速度极高、连接机器设备显着大量的优势，因此可以协助公司加快完成工业生产4.0总体目标。ProfiNet和EtherCat插口除此之外，除开先前选用模拟输出的版本号，现还装有电容传感器真空泵规CCT。

该真空计有着不会受到汽体类型危害和测量精度高的优点，并可用以表层的镀膜全过程的准确过程控制、低温干燥或校正试验室。电容传感器真空泵规CCT靠谱的瓷器技术性元器件具备良好的有机化学耐心和非常低的零点误差。现阶段，有温度补偿型和45℃加温型二种规格型号可挑选 。

电容传感器真空泵规CCT超滤装置或是机械泵调节时常常必须查询机械泵的真空值，每一个调试工程师都期待有一款便携式精巧而且结实耐用的真空计。为达到这类要求，inficon公布了一款携带式的真空计套服inficon。现阶段正限营销，价税合计5000元套。套服包含：数字万用表尺寸的便携式控制板，根据可伸缩式铜线联接的真空泵规管，也有便捷带上的迷你型行里箱。

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.inficon真空计的特性？答：inficon真空计是一种肯定真空计，可以得出被测压力的平方根。但inficon计只有测量被测汽体中汽体的分气体压强，不可以测量在其中可凝气体的气体压强。2.导热真空计的基本原理？根据哪些量的测量来体现导热的转变？

答：导热真空计是根据低电压汽体的导热与工作压力相关这一状况来开展测量的。它可以根据热丝电阻器的变动来体现溫度的转变，进而体现导热的转变，用此类测量方式的真空计称之为传热系数真空计，又称之为皮拉尼真空计。还可以同时用热电阻测量热丝的气温改变来体现导热的转变，称之为热偶真空计。

危害导热真空计测量低值的原因是什么？答：热丝的发热量除开汽体热传导外，还能够顺着热丝自身向两边热传导，即固态热传导；还能够以扩散的方法热传导，这二种换热方法与工作压力不相干，当工作压力较低，汽体的传发热量显著小于固态的换热和幅射热传导时，就不可以体现工作压力的变动了，即做到了测量的低值。

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